一、产品简介

高精密充氮洁净烘箱，也常被称为无氧烘箱、氮气保护烘箱、无尘烘箱。它在热风循环烘箱的基础上，增加了氮气置换与高效空气过滤系统，可在箱内形成低氧（≤10ppm）、无尘（百级/千级洁净度）的环境，同时实现高精度控温，避免精密工件在高温处理过程中氧化、污染，是半导体、电子封装、光学行业的核心工艺设备。

二、核心作用与典型应用

行业/领域 核心作用 典型物料/工艺

半导体/电子行业 无氧固化、防潮烘干、防氧化处理 晶圆、LED封装、MLCC电容、PCB板、传感器件

光学/材料行业 无尘烘干、镀膜前处理、精密固化 光学镜片、玻璃基板、光敏材料、精密陶瓷

化工/新材料行业 惰性气氛保护固化、干燥 树脂、胶黏剂、易氧化中间体、锂电池材料

其他精密工艺 无氧退火、精密预热、无尘热处理 金属精密件、航空航天部件、实验室样品处理

三、通用技术规格（标准款）

项目 常规参数范围

温度范围 常温+10℃ ~ 200℃（可定制至400℃）

控温精度 ±0.5℃，箱内温度均匀度≤±1℃

氧含量控制 ≤100ppm（高端款可低至≤10ppm）

洁净度等级 千级（1000级）/ 百级（100级）可选

氮气纯度要求 ≥99.99%（推荐99.999%，纯度越高防氧化效果越好）

氮气流量控制 双路转子流量计/质量流量控制器，0~100L/min可调

内胆材质 304/316L镜面不锈钢，无死角、易清洁

循环系统 高效过滤热风循环，配合HEPA高效过滤器

控制系统 触控式PLC智能控制，支持程序升温/降温、数据记录、报警功能

安全配置 超温报警、氮气不足报警、门控联锁、三色声光报警灯

电源规格 AC 220V/380V 50Hz，按需配置

四、核心结构与设计亮点

1. 氮气保护系统

配备双路氮气流量控制装置，可精准调节氮气输入量，配合微正压设计，快速置换箱内空气，维持低氧环境，防止工件氧化变色。

2. 高洁净度设计

箱内采用镜面不锈钢内胆+圆角无死角设计，配合高效空气过滤器（HEPA），可实现百级/千级洁净度，避免粉尘污染精密工件。

3. 多屏智能控制系统

顶部集成了温度显示表、多通道温度巡检仪和触控式操作屏，可实时监控箱内温度、氧含量、氮气流量等参数，支持数据记录与导出，满足工艺追溯需求。

4. 安全防护设计

顶部的三色声光报警灯可实时反馈设备运行状态，同时配备超温、氮气不足、门未关紧等多重报警与联锁装置，保障设备与工艺安全。

五、定制化选项

• 可根据物料尺寸定制内胆容积（100L~1000L）与内部搁架配置；

• 可选真空预抽功能，进一步降低箱内氧含量，满足高要求防氧化工艺；

• 可升级PLC全自动控制、远程监控、氮气自动切换与流量闭环控制；

• 可定制防爆型、充氩气保护款、程序控温款，适配特殊工况需求。